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半导体另一个主要的氦气消费者是半导体行业,其消耗量约占全球氦气使用量的25%,以及美国氦气使用量的约10%。3 与MRI设备一样,氦气用于冷却超导磁体,这些磁体用于提高通过直拉法生长的硅锭的纯度。氦气也在一些生产过程中用作冷却剂,以及用作非反应性气体来冲洗某些容器、进行泄漏检测和多种其他用途。半导体工业协会2023年的一份报告指出,氦气被用作“载气,用于快速精确的能量和热传递,用于反应调节,用于背面和负载锁冷却,用于光刻,用于真空室,以及用于清洁。”同一份报告指出,对于其中许多用途,氦气没有替代品。
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